一种用于气密性检测仪的高速矢量阀

本申请提出了一种用于气密性检测仪的高速矢量阀，包括壳体、进气通道、泄压通道及与二者连通的汇流腔。泄压通道包括第一通道和第二通道，在两通道与汇流腔的交汇处分别设置第一泄压阀和第二泄压阀。汇流腔一端的连接端部设有分流段，分流段依次包括第一椭圆段、分流圆弧段和第二椭圆段，分别与第一通道和第二通道连通，分流圆弧段圆心位于汇流腔轴线上、半径为汇流腔内径的0.8倍。上述用于气密性检测仪的高速矢量阀通过该结构使高压气体通过两路泄压并在光顺分流段内平稳转向和分配，降低单阀冲蚀、压降和噪声，提高高速矢量阀在高压大容积被测件工况下的稳定性和使用寿命。