一种具有位移反馈的流量控制阀及质量流量控制器

本发明的一种具有位移反馈的流量控制阀，包括安装块、设置在所述安装块上的节流组件、设置在所述节流组件上的阀座、设置在所述阀座上的阀芯、设置在所述阀座内的位移传感器以及驱动件，所述节流组件包括上分气座、下分气座以及弹性单元，所述上分气座与下分气座之间形成可调节的间隙以控制气体流量，所述位移传感器安装在所述阀座内并与所述阀芯贴合设置，所述位移传感器包括第一陶瓷片和第二陶瓷片，所述第一陶瓷片与第二陶瓷片之间形成电容。本发明的具有位移反馈的流量控制阀通过设置位移传感器，实现了对阀芯位置快速、精确的直接测量，从而显著提升了流量控制的响应速度和精度。本发明还包括一种质量流量控制器。