一种用于镀膜舱室供应特气的供气装置

本发明涉及镀膜加工技术领域，且公开了一种用于镀膜舱室供应特气的供气装置，该装置主要由主特气柜、备用特气柜、预充式缓冲罐和气流分散组件组成，主特气柜和备用特气柜通过气动三通阀与预充式缓冲罐相连，形成双气源供气系统；当主特气柜压力不足时，气动三通阀自动切换至备用特气柜，在此过程中预充式缓冲罐会优先释放储存的高压气体，通过供气主管持续向镀膜舱室供气，完全避免了传统设计中因阀门切换导致的气压波动问题。预充式缓冲罐采用同轴双腔室设计，包括外层的高压腔和内层的稳压腔，高压腔与气动三通阀连接，稳压腔通过供气主管与镀膜舱室连通，稳压腔内设有环形金属隔离板，通过自动调节机构实现气压自动平衡。