电加热多级水洗尾气处理设备

本发明涉及半导体尾气处理技术领域，尤其是指电加热多级水洗尾气处理设备，包括燃烧机构，燃烧机构的底部安装有连接机构，连接机构的底部安装有储存机构，连接机构上安装有喷淋机构，燃烧机构包括外筒，外筒的内部固定连接有内筒，内筒的内顶部固定连接有固定架，固定架的内部安装有电加热器，外筒的底部固定连接有外壳，连接机构包括第一三通管，第一三通管的侧端固定连接有第二三通管，第一三通管的顶端与外壳的底部固定连接，喷淋机构包括喷淋塔，喷淋塔的侧壁开设有第三进水口。本发明，能够对碳化硅加工时产生的尾气进行处理，并去除尾气中硅烷燃烧处理后的二氧化硅等固体颗粒。