双路激光干涉仪、光栅测量方法以及光学检测系统

本申请公开了一种双路激光干涉仪、光栅测量方法以及光学检测系统，涉及光学检测技术领域，该双路激光干涉仪包括提供激光光束的激光光源，用于将激光光束分为第一光束以及第二光束的分光模块、第一光路模块、第二光路模块以及成像采集模块，该第一光路模块用于将第一光束入射至被测光栅，并接收经由被测光栅发出的第一衍射光形成第一干涉图；该第二光路模块用于将第二光束入射至被测光栅，并接收经由被测光栅发出的第二衍射光形成第二干涉图；成像采集模块分设于第一光路模块以及第二光路模块的出光侧的成像采集模块被设置为依据第一干涉图以及第二干涉图确定被测光栅的测量结果，以在不牺牲测量精度的前提下，提高光栅均匀性的测量效率。