一种多轴形位误差同步测量方法

本发明公开了一种多轴形位误差同步测量方法，具体方法如下：步骤一：激光模块输出初始激光，通过分光转向系统将初始激光分为第一Y轴准直光束、第二Y轴准直光束以及Z轴准直光束；步骤二：同步移动第一直线导轨、第二直线导轨以及第三直线导轨上的滑块，利用二维位置探测器记录各个滑块在不同位置的激光点坐标值；步骤三：基于步骤二得到的数据，拟合第一直线导轨、第二直线导轨以及第三直线导轨上的滑块移动轨迹方程；步骤四：计算第一直线导轨与第二直线导轨之间的平行度以及第一直线导轨与第三直线导轨之间的垂直度。本发明一次测量，可同时测量导轨之间的平行度、垂直度等多项形位误差，无需逐一测量，测量效率大大提高。