基于PDMS封装微纳光纤环腔的多轴应变光学测量装置及方法

本申请公开了一种基于PDMS封装微纳光纤环腔的多轴应变光学测量装置及方法，涉及精密力学测量及光纤光学传感技术领域。装置包括沿厚度方向依次设置的第一PDMS基底层、第二PDMS结构层和第三PDMS保护层，第二PDMS结构层由多个微结构单元形成二维阵列，划分为至少三个力学特性不同的子区域，在外部三轴载荷作用下各子区域产生相互线性独立的局部应变模式。至少三枚微纳光纤环形谐振腔分别包埋于不同子区域内，使各环腔主要响应不同局部应变模式。光路单元用于采集各环腔谐振波长，多轴应变解算单元对三轴应变进行解析求解。本发明显著降低交叉敏感度，改善解算矩阵条件数，实现多轴应变的稳定、高精度光学测量。