具备相对位姿调整功能的测量系统及其工作方法

本发明测量仪器计量测试技术领域，特别是涉及一种具备相对位姿调整功能的测量系统及其工作方法。本发明包括双频激光器及光纤耦合单元用于为测量单元提供光线基准和电压基准；测量单元用于提供测量光线至正弦臂，当正弦臂与所述测量单元之间存在相对位置偏差时，所述测量单元中的四象限探测器上的光斑将偏离中心位置，并输出所述正弦臂与测量单元之间的相对位置偏差信息，当正弦臂与所述测量单元之间存在相对角度偏差时，所述测量单元中的位置敏感探测器上的光斑将偏离中心位置，并输出所述正弦臂与测量单元之间的角度偏差信息。本发明通过相对位姿监测系统，可以实现正弦臂与测量系统之间微米级的相对位置调整精度以及角秒级别相对角度调整精度。