一种微力微距传感器及其制备方法与应用

本发明涉及微纳传感领域，特别是一种微力微距传感器以及制备方法与应用。微力微距传感器包括磁场感应元件及其上敏感元件；敏感元件包括多根磁性微柱；各个磁性微柱直立设置，磁化方向竖直向上；磁性微柱至少包括细长型和短粗型两类，细长型的磁场微柱中朝外一侧的端部还包括磁性更强的增强层；增强层由磁性更强的材料制备而成。制备过程中，先通过飞秒激光加工系统制造模板，再通过转印基础上生成不同规格磁性微柱，最后通过尖端蘸取高缠在永磁材料的复合材料形成增强层。本发明的人造皮肤由两侧的柔性基膜，以及中间的若干个阵列化排布的微力微距传感器构成。本发明解决了现有同类传感器灵敏度不足、线性区间较窄、成本高昂的问题。