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기록

一种具备空间高度的3D太赫兹超表面传感器

발명유효
8청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

焦亚楠; 杜晓辉; 贾卿哲; 马兆福; 劳泽秋; 王雨佳; 娄菁; 常超

IPC 분류

G01J 3/02 (2006.01)G01N 21/3586 (2014.01)G01J 3/28 (2006.01)

本发明提供了一种具备空间高度的3D太赫兹超表面传感器,涉及太赫兹波探测领域,包括:基底,由具有对太赫兹波高透性的材料制成;晶胞单元,具有开口谐振环组件和设于开口谐振环中部的高度可调金属棒组件,多个晶胞单元集成至基底表面形成超表面阵列;其中,开口谐振环组件包括一对对称的谐振环,两个谐振环相对设置两侧留有开口,高度可调金属棒组件包括多种高度的金属棒,金属棒设于谐振环围成的区域中部,金属棒的宽度小于谐振环的宽度,金属棒在垂直高度方向上与谐振环齐平或超出谐振环。其在太赫兹传感方面具备高灵敏的优越性能。