高响应速度碲镉汞长波红外光伏探测器及其制备与测试方法

本发明公开了高响应速度碲镉汞长波红外光伏探测器及其制备与测试方法，属于光电探测技术领域；本发明包括测试方法包括响应时间测试系统和探测率测试流程；响应时间测试系统，基于皮秒激光器模拟长波响应，捕获和记录探测器输出的瞬态电压信号；本发明建立Cd组分x与截止波长的三次方程模型，使得探测器截止波长的波动范围控制在误差<0.05μm；外延层实现外延片到探测器的一体化制备，良率提升，首创的1550nm激光等效测试方案，成功解决了长波脉冲光源缺失的难题，将响应时间测量误差从>30%降低至<9%，为器件性能提供了精确、可靠的评估手段，形成的垂直外延+离子注入+双钝化层复合工艺链，实现了从外延片到探测器的一体化制备。