平衡式压力传感器及水压和气压的测量方法

本发明涉及机械工程与智能传感器领域，公开了平衡式压力传感器及水压和气压的测量方法，该传感器包括压力感应腔体、平衡膜片、激励与检测单元、微气泡主动驱离单元及信号处理与控制单元；通过激光多普勒测振与压电激励获取膜片振动响应，基于频谱分析判断气泡附着状态，并触发微射流定向清除气泡；驱离完成后重新采样计算压力值。系统采用疏水膜片、微流体喷嘴阵列及工作液回收结构，实现高效、低耗、循环驱离。本发明通过在平衡式压力传感器中集成微气泡主动驱离单元，实现了对附着于平衡膜片表面的微米级气泡的物理层面实时清除，从根本上消除了气泡附着引起的膜片振动频率异常衰减问题。