低温泵氦质谱检漏装置和低温泵的检漏方法

本发明涉及低温泵检漏领域，并公开了一种低温泵氦质谱检漏装置和低温泵的检漏方法，低温泵氦质谱检漏装置包括：检漏舱、抽真空组件、氦气检测组件、第一真空度检测件、低温泵泵体检测组件、氦气充入组件、氦气浓度检测件、第一校准组件和第二校准组件，抽真空组件包括第一管路、第一阀、第二阀、第一抽真空泵和第二抽真空泵；氦气检测组件包括第二管路、第三阀和氦质谱检漏仪；低温泵泵体检测组件包括第三管路、第二真空度检测件、第四管路和第四阀；氦气充入组件包括第五管路、氦气储存件和第五阀。本发明的低温泵氦质谱检漏装置可以在一次操作中同时完成对制冷机和低温泵泵体进行检漏，提高检漏效率。