一种用于远端等离子模块的腔体真空测试装置及方法

本发明涉及真空腔体测试技术领域，公开一种用于远端等离子模块的腔体真空测试装置及方法，其中，一种用于远端等离子模块的腔体真空测试装置，包括测试机主体，设置于测试机主体外侧的电机，还包括设置于测试机主体工作台面顶部的检测机构；检测机构包括设置于测试机主体工作台面顶部的支板，设置于支板底部的工件，设置于电机靠近支板一侧的双向丝杆，若干个斜对称开设于支板靠近双向丝杆一侧的滑槽，设置于滑槽内部的滑块，设置于滑块底部的下垂杆，设置于滑块顶部的上接杆。通过设置检测机构，实现工位的灵活增加，用户可根据实际需求调整工位数量，提升测试效率，并具备适应不同孔径空腔的能力。