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案件記録
屏蔽片状态检测方法、装置及高能拍瓦激光终端系统
発明有効
10請求項 · 3 独立
§ Ⅰ
案件概要
発明者
陈勇; 黄征; 孙立; 杨雷; 卢峰; 李纲; 谢娜; 王礼全; 周凯南
IPC分類
G01M 3/34 (2006.01)G01L 21/00 (2006.01)
本发明公开了一种屏蔽片状态检测方法、装置及高能拍瓦激光终端系统,涉及高能拍瓦激光技术领域,在强场激光装置的屏蔽片与靶室之间设置隔离阀,关闭隔离阀,使屏蔽片与隔离阀之间形成密封腔体,设置真空计一以测量密封腔体内的真空度;对强场激光装置的终端聚焦真空腔室进行抽真空至工作真空度;对密封腔体进行抽真空,使终端聚焦真空腔室的真空度优于密封腔体的真空度;获取密封腔体的真空度信息一,将真空度信息一与理论真空度信息进行比对,若密封腔体的真空度优于理论真空度,则判定屏蔽片破损。本发明减少了资源占用,提高了检测效率;能够缩短屏蔽片在靶室不明物质下的暴露时间,减少了污染,确保了使用寿命,降低了维护难度。
外部リソース