罩装置、处理装置及处理方法

一种罩装置，具备罩和进退引导部，前述罩覆盖处理空间及处理搬入该处理空间的处理对象物的处理部，前述进退引导部在覆盖前述处理空间及前述处理部的伸出位置和不覆盖前述处理空间的退避位置之间将前述罩能够进退地引导，前述罩具备在前述伸出位置侧的面形成的前方开口部，将前述前方开口部开闭的开闭部设置于前述罩。