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案件記録

适用于RGV上下料的料条视觉检测机

発明有効
8請求項 · 1 独立
§ Ⅰ

案件概要

発明者

林宜龙; 刘飞; 黄水清; 于维和; 严学喜

IPC分類

G01N 21/01 (2006.01)G01N 21/95 (2006.01)

本发明涉及半导体检测技术领域,公开了一种适用于RGV上下料的料条视觉检测机,包括上下料系统和视觉检测系统,上下料系统包括上下料平台、第一移料装置和推料装置。上下料平台包括沿竖直方向依次间隔设置的上层平台、中层平台和下层平台。第一移料装置设置于上下料平台沿第一水平方向的一侧,推料装置设置于第一移料装置沿第二水平方向的一侧,第二水平方向垂直于第一水平方向。第一移料装置用于将上层平台上的料盒移动至料盒对接位,推料装置用于将位于料盒对接位的料盒中的料条沿第一水平方向推出料盒,第一移料装置还用于将中层平台上的料盒移动至料盒对接位,以及将位于料盒对接位的料盒移动至中层平台上或下层平台上。

外部リソース