一种用于晶圆缺陷检测机台光学组件的调试装置及调试方法

本发明公开了一种用于晶圆缺陷检测机台光学组件的调试装置及调试方法。调试装置包括平台主体、定位基准组件、吸盘、高度调节组件、安装支架和辅助调试接口。平台主体由天然大理石材料制成，其上表面构成光学组件的安装基准平面；定位基准组件设置于平台主体上表面，按照缺陷检测机台光学组件的实际安装坐标加工有定位销孔；吸盘布置于平台主体上方用于承载调试用晶圆；高度调节组件安装于吸盘底部；安装支架通过紧固件与平台主体上的螺纹孔配合；辅助调试接口设置于平台主体侧面。本发明通过独立于整机的调试环境，实现了光学组件的离线调试，使光学调试与运动平台组装可并行进行，显著缩短了设备组装周期，同时提高了调试精度和安全性。