一种基于入射光角度调节与三偏振维度协同的二次谐波表征系统

本发明涉及光学测量技术领域，尤其是一种基于入射光角度调节与三偏振维度协同的二次谐波表征系统，针对现有技术中SHG测量系统中入射/出射角度调节范围有限、偏振态调控精度不足、自动化程度低、系统集成度低的问题，现提出如下方案，其包括前端光路组件、样品测试光路组件、后端光路组件、样品台及控制单元；所述前端光路组件用于对激光进行滤波和准直；所述样品测试光路组件是由180°透反射测试转台实现不同激光的入射角，最后通过后端光路组件及控制单元完成多角度、多偏振态下的SHG信号采集。本发明实现了入射角度0°–90°连续可调、偏振态多维度协同控制、样品取向自动调整的高精度SHG表征，显著提升了测试效率和系统集成度。