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기록

一种成像装置、对准方法及键合设备

발명유효
10청구항 · 3 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

关键鑫; 耿波; 董博宇; 陈龙超; 王海燕

IPC 분류

G01N 21/84 (2006.01)H10P 72/00 (2026.01)H10W 72/00 (2026.01)H10W 80/00 (2026.01)

本说明书实施例提供了一种成像装置及键合设备,在该成像装置中,利用镜头将所述第一光线的物平面聚焦于所述待测物体的第一位置,将所述第二光线的物平面聚焦于所述待测物体的第二位置,从而可以利用单个镜头和光源实现待测物体不同位置处的图像的获取,无需专门设计多套镜头和光源来分别获取待测物体不同位置处的图像,有利于减少成像装置中的元件数量,从而降低成像装置的成本和体积。