一种晶圆明场照明与成像系统、晶圆缺陷检测设备及检测方法

本发明涉及半导体检测技术领域，尤其是指一种晶圆明场照明与成像系统、晶圆缺陷检测设备及检测方法，所述系统包括：照明模块、合束模块、物镜模块及采集成像模块；其中，所述照明模块生成适配晶圆检测视场的照明光束；所述合束模块通过独立工作的反射区域与透过区域，实现照明光路与采集光路的无干扰分离传输；所述物镜模块将反射区域折转后的光束会聚至晶圆表面，且控制光束仅在入瞳边缘形成照明实现离轴照明；同时，还将晶圆表面的反射光束准直后传输至透过区域；所述采集成像模块接收平行光束，将光信号转换为电信号，生成晶圆表面图像。本发明有效地解决了传统明场检测系统能量损耗高、成本高、检测速率低及分辨率不足的问题。