基于散射光检测的激光加工实时缺陷监测装置及方法

本发明属于激光加工质量检测相关技术领域，并公开了一种基于散射光检测的激光加工实时缺陷监测装置，其包括散射光检测模块、信号处理模块和显示预警模块，其中散射光检测模块为一体化集成设计，用于实现“聚焦‑过滤‑衰减”的散射光检测功能；信号处理模块基于坐标注意力机制，对检测信号进行各类处理和增强，由此得出缺陷判断结果；显示预警模块用于对缺陷判断结果等数据进行显示，并根据缺陷严重程度发生不同等级的报警。本发明还公开了相应的监测方法。通过本发明，能够实现激光加工过程中对表层及亚表层缺陷的实时、精准识别，因而适于为半导体、光学元件、航空航天等领域的激光加工质量控制提供更为高效、可靠的解决方案。