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기록
一种COB基板的缺陷检测装置
발명유효
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
杨雅茹; 徐智忠; 王馨莹
IPC 분류
G01N 21/89 (2006.01)G01N 21/01 (2006.01)
本发明涉及一种COB基板的缺陷检测装置,包括:输送机构,COB基板放置在所述输送机构上,并进行输送;机架,所述机架用于承载所述输送机构;第一成像机构,所述第一成像机构设置在所述输送机构的上方,用于检测COB基板的上表面缺陷;第二成像机构,所述第二成像机构设置在所述输送机构的下方,用于检测COB基板的下表面缺陷;以及控制器,所述控制器与所述输送机构、第一成像机构以及第二成像机构电连接。本发明通过第一成像机构对COB基板的正面进行拍摄检测,第二成像机构对COB基板的反面进行拍摄检测,精准覆盖了从深划伤、翘曲到浅凹坑等所有典型正面缺陷,以及反面的元器件缺陷,检测能力和可靠性显著提升。