一种集成光学检测与数据分析的钙钛矿薄膜质量管控系统

本发明属于半导体材料检测技术领域，涉及一种集成光学检测与数据分析的钙钛矿薄膜质量管控系统，其包括数据采集与预处理模块、动态基准构建模块、缺陷指数计算模块和缺陷分析与调控模块，通过采集钙钛矿薄膜表面的光致发光强度数据和反射率数据，并进行空间像素配准及预处理，构建二维特征空间，利用动态滑动窗口算法拟合出动态基准光强曲线；基于动态基准光强曲线和实测光致发光强度，结合非线性指数映射模型计算每个像素点的缺陷严重度指数；将缺陷严重度指数渲染为缺陷分布热力图，根据缺陷面积占比及分布形态生成生产设备调控指令。本发明利用数据统计规律动态解耦膜厚对光致发光信号的干扰，提升了钙钛矿薄膜缺陷检测的准确率和生产良率。