多级显微成像协同的柔板裂纹检测方法、装置及系统

本发明涉及一种多级显微成像协同的柔板裂纹检测方法、装置及系统。该方法包括：通过热发射显微镜对待测FPC进行检测，获取待测FPC上的热点区域的外红辐射图像，并根据热点区域的外红辐射图像定位待测FPC上的疑似裂纹区域；通过三维显微镜对待测FPC上初步定位的疑似裂纹区域进行检测，获取疑似裂纹区域的线路表面的三维形貌图像，并根据三维形貌图像标记出确定裂纹区域；通过扫描电子显微镜对待测FPC上标记出的确定裂纹区域进行检测，获取确定裂纹区域的裂纹表面形貌图像，根据裂纹表面形貌图像对确定裂纹区域的裂纹进行特征提取和分类，完成对待测FPC的裂纹检测。本发明可解决传统检测方案宏观定位能力弱或微观识别能力不足的问题。