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기록

HBM高带宽存储器CT检测机构

발명유효
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

吴元; 官仁发

IPC 분류

G01N 23/046 (2018.01)B65G 47/82 (2006.01)B65G 47/24 (2006.01)

本发明涉及存储器CT检测技术领域,尤其涉及HBM高带宽存储器CT检测机构。其技术方案包括载台,以及活动连接在载台上的驱动单元,所述驱动单元用于将存储器本体推送至检测工位;以及,设置于载台内部的检测单元,所述检测单元包括转动连接在载台内的检测架,所述检测架的两侧固定安装有套筒件;以及插设在套筒件内部的夹持杆。本发明在对HBM高带宽存储器进行CT检测时,利用设置的移动架以及夹持件能够快速地将存储器推送至检测工位,并实现稳定夹持;配合设置的齿环与齿条之间的啮合连接的关系,能够带动检测架对存储器进行多维度的数据采集,保证对HBM高带宽中垂直堆叠多个DRAM芯片结构均能够清晰的成像,保证了CT检测结果的准确性。