一种晶圆元素含量量测方法及X射线荧光光谱分析仪

本发明涉及晶圆检测领域，特别是涉及一种晶圆元素含量量测方法及X射线荧光光谱分析仪，通过将待测晶圆置于X射线荧光光谱分析仪的晶圆卡盘中；利用所述晶圆卡盘带动所述待测晶圆旋转，并在旋转过程中利用目标探测元素对应的目标波段X射线照射所述待测晶圆，使所述X射线荧光光谱分析仪的信号侦测器收集所述目标波段X射线的各个入射方向对应的晶圆发光信号；将光强最低的晶圆发光信号对应的入射方向设置为所述目标探测元素对应的标准探测方向；旋转所述晶圆卡盘，并利用所述X射线荧光光谱分析仪进行对应的目标探测元素的元素含量的量测。本发明减小了衍射光对晶圆元素含量量测的影响，以提高后续的XRF量测的元素识别准确率与含量量测精度。