一种基于SIMS的裂变核素Zr定量分析方法

本发明属于核燃料及材料的辐照效应技术领域，具体涉及一种基于SIMS的裂变核素Zr定量分析方法。包括步骤：CeO样品表面的裂变核素Zr离子注入、离子注入后CeO样品表面的镀膜处理、SIMS分析参数的优化调节、CeO样品中裂变核素Zr的深度剖析及浓度标定。该方法可快速测试并获得裂变核素Zr在CeO模拟燃料深度方向上的浓度分布、相对灵敏度因子和检测限；可用于辐照后的核燃料中裂变核素Zr的表征分析，结合已获得的Zr的相对灵敏度因子，对辐照后的核燃料不同径向位置的裂变核素Zr的二次离子强度随深度变化曲线进行浓度标定，从而得到辐照后的核燃料中裂变核素Zr沿径向的浓度分布。