一种高导热材料薄膜热导率的测量装置及方法

本发明一种高导热材料薄膜热导率的测量装置及方法，属于热物性参数测试技术领域；该装置包括激光调制加热模块、被测样品与定位平台模块、微热探针检测模块以及数据分析与控制模块；激光调制加热模块用于在样品表面形成可调制的局部加热光斑；微热探针检测模块检测样品表面温度的周期性振荡信号；数据分析与控制模块用于调节激光参数、采集温度信号并分析计算热导率；在稳态阶段校正系统热阻和环境散热误差，在瞬态阶段通过分析温度振荡的幅值与相位响应获取样品热扩散特性，并利用热传导模型进行拟合求解；该装置结构紧凑、非破坏性强、灵敏度高、空间分辨率优良，适用于微米至毫米级高导热薄膜材料的热导率精确测量。