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案件記録

一种检测基板、离子检测方法及电子设备

発明有効
11請求項 · 3 独立
§ Ⅰ

案件概要

発明者

王林志; 林柏全; 席克瑞; 秦锋; 章凯迪

IPC分類

G01N 27/414 (2006.01)H10D 30/60 (2025.01)

本公开提供一种检测基板、离子检测方法及电子设备,涉及电子器件技术领域,包括:衬底和设置于衬底一侧的至少一个检测单元,检测单元包括第一晶体管;第一晶体管包括:第一栅电极、第一栅绝缘层、有源层、源极和漏极、第二栅电极、第二栅绝缘层以及离子敏感层;其中,第二栅电极与第一栅电极电连接。如此,通过将第一栅电极与第二栅电极电连接,离子检测过程中,离子敏感层的电荷变化可同时使得第一栅电极和第二栅电极的电压均发生改变,使第一晶体管的背沟道和前沟道均产生调制效应,可提升第一晶体管的输出电流,进而提升检测单元的离子探测敏感度。

外部リソース