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기록
一种极低气压下汤逊稳态法实现微观参数测量的装置
발명유효
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
卢铁兵; 韩刘婧; 张璐玥; 杨耀童; 姜辰雨; 李昶
IPC 분류
G01N 27/92 (2006.01)G01R 31/12 (2020.01)
本发明涉及极低气压罐技术领域,特别是涉及一种极低气压下汤逊稳态法实现微观参数测量的装置,包括移动机架,在所述移动机架顶部固定有实验罐体,所述实验罐体内部设置有上电极和下电极,所述上电极和所述实验罐体之间设置有镀膜玻璃管,所述镀膜玻璃管远离所述上电极的一端位于所述实验罐体的外侧,且固定连接有光学透镜;所述下电极位于所述上电极的正下方,在所述实验罐体的下端设置有升降组件,所述升降组件的升降端连接所述下电极;在所述实验罐体的竖直侧壁上连接有抽真空机构和气压调节组件;通过上述技术方案,能够精确控制被测气体进入实验罐体的通入量,提高实验数据的准确性。