一种基于极性特征的激光超声非接触式检测方法及系统

本发明涉及微电子器件无损检测技术领域，具体涉及一种基于极性特征的激光超声非接触式检测方法及系统，包括：对样品表面进行二维扫描，并采集每个扫描点的时域衍射信号；分别从每个所述扫描点的所述时域衍射信号中，提取在预设时间窗口内的第一衍射峰的极性；基于各个扫描点的所述极性，计算极性空间统计特征；基于所述极性空间统计特征，生成缺陷概率热图。本发明通过提取和利用激光超声时域衍射信号中第一衍射峰的极性波动特征，将其转化为极性空间统计特征，并计算生成缺陷概率热图，有效克服了传统依赖信号幅值检测中易受激光功率波动和机械振动干扰的局限性，显著提升了针对亚表层纳米尺度缺陷的检测信噪比与定位精度。