一种基于分时切换的双激光超声检测系统

本发明涉及半导体无损检测与精密测量技术领域，具体涉及一种基于分时切换的双激光超声检测系统，包括分别产生低能量密度高重复频率脉冲激光的第一激光源和产生高能量密度低重复频率脉冲激光的第二激光源；光路切换模块选择性地接通相应激光源的光路；激光处理模块将脉冲激光处理成泵浦‑探测光；合束与聚焦模块将两路泵浦‑探测光空间合束并聚焦至样品同一检测点；信号探测与处理模块分时接收处理返回的探测信号；时序控制模块同步控制光路切换和信号处理。本发明通过一体式控制框架和时序光路切换，有效消除了传统双系统的热漂移和机械振动误差，显著提升了芯片内部缺陷检测的精度与可靠性。