一种用于脆性晶片的非线性超声检测装置及其使用方法

本发明提供了一种用于脆性晶片的非线性超声检测装置及其使用方法，包括底板，底板的顶部设有若干支腿；支腿的顶端设有连接架，用于检测时放置晶片；底板的顶部设有位于若干支腿之间的调节架；调节架设有检测机构，检测机构用于对晶片进行超声检测；底板的顶部设有转运架，转运架用于将晶片吸附转运至连接架内放置。本发明采用吸盘吸附转运，安装钩内侧设有硅胶软垫，避免物理接触导致的晶片划伤或碎裂，适配脆性晶片，破损率降低；连接架的安装钩可同步移动，适配直径50‑300mm的圆形晶片及多种异形晶片，无需更换夹具，提升检测通用性；检测角度连续可调，无需更换探头，满足不同入射角度的检测需求，操作效率提升，操作更便利。