气体检测装置、气体供给系统以及基板处理装置

提供一种能够提高泄漏到气体箱内的处理气体的检测精度的气体检测装置、气体供给系统以及基板处理装置。本公开的一技术方案的气体检测装置检测泄漏到气体箱内的处理气体，其中，该气体检测装置具有：抽吸部，其具有多个抽吸孔，该多个抽吸孔在与对所述气体箱内进行排气的排气管道的中心轴线正交的截面中在互不相同的位置抽吸所述处理气体；和气体检测器，其检测所述抽吸部所抽吸的所述处理气体。