一种气体管路洁净度检测方法及系统

本发明提供了一种气体管路洁净度检测方法及系统，涉及半导体技术领域，包括以下步骤：利用传感器检测阵列对气体管路中的气体检测，并利用端点平移法对检测数据集进行不确定度校正，得到校正数据集；构建洁净度评估模型，并对洁净度评估模型进行洁净度阈值参数边界值求解，得到洁净度阈值参数范围；利用传感器检测阵列实时获取气体管路数据，并结合洁净度阈值参数范围进行气体管路洁净度评估。本发明可及时发现气体洁净度异常情况并发出报警，便于快速采取措施，保障气体管路的正常运行和产品质量，整个流程形成了一个从数据采集、处理到评估、预警的完整且高效的闭环体系。