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기록

一种显影液自动检测装置及其检测方法

발명유효
10청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

于文达; 王宝兴; 邵天成; 于默涵; 吕国文; 冯亚楠; 尹丰丰; 李艳红; 张瑞起; 刘司宁

IPC 분류

G01N 35/00 (2006.01)G01N 33/00 (2006.01)G03F 7/30 (2006.01)B25J 9/00 (2006.01)B25J 5/02 (2006.01)B25J 9/04 (2006.01)

本发明属于显影液检测技术领域,具体涉及一种显影液自动检测装置及其检测方法,显影液自动检测装置包括设置在工作台上的待测显影液储槽、淋洗槽和标准显影液储槽,所述工作台上还设置有机械爪和移动机构,待测试片上设置有检测部和标准部,所述机械爪夹持待测试片,并借助移动机构具有于待测显影液储槽、淋洗槽和标准显影液储槽之间往复移动的自由度。本发明通过在待测试片上集成检测部和标准部,使同一试片在短时间内经历两种显影液先后处理,保证标准试片与待测试片浸泡过程中的温度等环境参数基本相同,并且无需更换试片即可完成对比,减少因试片个体差异导致的检测误差,并方便了后续工作人员进行对比观察。