一种基于双层薄膜协同增强型微纳光纤的热线式风速传感器及其传感装置

本发明公开了一种基于双层薄膜协同增强型微纳光纤的热线式风速传感器及其传感装置，所述光纤风速传感器由单模光纤‑无芯光纤‑单模光纤结构经拉锥形成锥形光纤，并在锥区表面依次溅射金膜和涂覆氧化石墨烯构成热线式风速传感器。本发明利用980 nm激光作为泵浦光加热金膜与氧化石墨烯层，使传感单元温度升高；同时利用宽带光源作为探测光源，通过光谱仪接收溅射金膜和涂覆氧化石墨烯膜的锥形光纤产生的马赫‑曾德尔干涉效应的光信号。当气流流经传感结构时，冷却效应导致其温度变化，进而通过热光效应改变干涉仪的有效折射率和相位差，最终导致透射光谱的谐振波长漂移。通过检测波长漂移量即可实现对风速的精准测量。本发明不受温度串扰、结构紧凑、灵敏度高等优点，能适用于实际微通道的风速检测。