一种旋转对称L型复合式压电三轴加速度传感器

本发明涉及传感器技术领域，具体涉及一种旋转对称L型复合式压电三轴加速度传感器，包括不锈钢基体框架、中心惯性质量块、平面敏感单元、剪切敏感单元和信号引出系统；通过旋转对称的L型悬臂梁结构，使用单一惯性质量块实现对三轴加速度的感知，显著减小传感器的体积和质量，使其适用于对重量和空间要求极高的应用场景，能够在单一中心惯性质量块的基础上，实现三轴加速度的低耦合、高灵敏度、宽频带测量，同时具备体积小、重量轻、可靠性高的特点，以解决传统正交组合式和现有集成式MEMS传感器在高端精密测量应用中面临的困境，通过结合差动输出和对称结构，实现对共模干扰的抑制，提升传感器在变温环境下的输出稳定。