一种基于广义渐开线结构梁的弹性元件及加速度传感器

本发明公开了一种基于广义渐开线结构梁的弹性元件及加速度传感器，所述弹性元件包括第一质量块、第二质量块和弹性膜片，所述第一质量块、第二质量块分别对称设置在所述弹性膜片的上表面和下表面；所述弹性膜片上开设至少一条广义渐开线形镂空槽，从而在所述弹性膜片径向方向形成多个广义渐开线梁，构成多梁并联结构；而且所述广义渐开线形镂空槽沿质量块边缘向所述弹性膜片边缘方向开设；所述广义渐开线梁形成所述弹性元件的柔性铰链，其与第一、第二质量块配合延长柔性铰链长度。所述镂空槽的渐开线型引入能够确定最佳的基圆半径与展开系数，灵活调整螺旋梁布局，通过增加梁的数量有效地提高了膜片的横向刚度，并减少了横向加速度引起的串扰。