应用于扫描隧道显微镜超高真空腔体的腔体外光耦合系统

本发明提供一种应用于扫描隧道显微镜超高真空腔体的腔体外光耦合系统，飞秒激光器产生飞秒脉冲光；第一分束器将飞秒脉冲光分束以获得第一光束和第一剩余光束；第二分束器将第一剩余光束分束为第二光束和第二剩余光束；第三分束器将第二剩余光束分束为第三光束和第四光束；第一光路模块用于处理第一光束并作为第一采样光；第二光路模块用于处理第二光束；第三光路模块用于处理第三光束并作为第二采样光；太赫兹产生模块用于根据第二光束和第四光束产生太赫兹脉冲；第一抛物面镜单元用于将太赫兹脉冲聚焦到电光晶体处；电光晶体用于探测THz光；第二抛物面镜单元用于将太赫兹脉冲聚焦射出；金反射镜用于将太赫兹脉冲引导到扫描隧道显微镜隧道结处。