基于MEMS谐振器的对称固支微梁电功率传感装置

本发明提供基于MEMS谐振器的对称固支微梁电功率传感装置，属于微机电系统传感技术领域。传感装置包括传感组件。传感组件包括振动梁、激励电极、调谐电极和辅助电极。振动梁沿自身轴向的两端均连接有辅助电极，激励电极和调谐电极沿振动梁的长度方向间隔布置，激励电极和调谐电极均设置于振动梁的同一侧。激励电极施加有激励电压，以使激励电极能够激发振动梁产生谐振。调谐电极施加有调谐电压，以使调谐电极能够根据环境温度调节振动梁的刚度，以反演出热源所对应的热功率。两个传感组件呈中心对称布置，以使不同振动梁所对应的激励电极和调谐电极所产生的静电场的干扰能够相互削弱。本发明能够实现宽温域内的高精度功率反演。