一种大功率射频负离子源功率耦合效率测量方法

本发明公开了一种大功率射频负离子源功率耦合效率测量方法，属于强流负离子源技术领域，包括：将电流传感器安装于匹配网络和射频驱动器之间的射频线圈输入端；对于原始结构的大功率射频负离子源，计算离子源等效电阻，获取离子源网络电阻的值，并计算射频功率耦合效率；更改原始结构的大功率射频负离子源的结构，计算更改结构后的离子源等效电阻；对更改结构的大功率射频负离子源，在未产生等离子体的实验条件下，以低功率、短脉冲测得一组射频线圈电流，重新计算离子源网络电阻，并计算射频功率耦合效率，比较不同结构对射频功率耦合效率的影响。本发明实现了对大功率射频负离子源的功率耦合效率的计算。