一种射频电源的测量电路及半导体工艺设备

本申请提供了一种射频电源的测量电路及半导体工艺设备，其中，该测量电路包括：信号采样模块，用于将功率放大电路输出的射频信号采样为采样信号；带通滤波模块，用于滤除采样信号携带的第一干扰信号；第一干扰信号的频率位于射频电源的本振频率的预设范围外；处理模块，用于根据采样信号确定出对应的射频功率，实现测量。本方案能有效提高测量电路的测量精度。