一种基于温补的高精度集群式石英晶振性能检测装置

本发明提供了应用于晶振制备技术领域的一种基于温补的高精度集群式石英晶振性能检测装置，包括温度模拟机构、晶振检测机构以及晶振工装；所述温度模拟机构包括温控下板、温控上板、热电制冷器、介质进管以及介质出管，温控上板和温控下板互相贴合后共同构成一个换热腔；所述晶振检测机构包括安装板。通过导液口向容纳探针的腔体内通入绝缘的恒温换热介质，利用该介质对探针进行加热或降温，使其温度与当前车规级测试环境下晶振产品的温度保持一致，从而避免接触时发生热量交换，保证了频率检测过程中晶振产品的温度稳定性，从而提高检测数据的准确性，使温度反馈调节更为精确，进一步提升晶振产品车规级耐高低温性能测试的整体精度。