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案件記録

一种自动化bar条激光芯片测试分筛装置

発明有効
9請求項 · 1 独立
§ Ⅰ

案件概要

発明者

杨洁翔; 瑞摩·普罗耶蒂·扎卡利亚

IPC分類

G01R 31/28 (2006.01)H01S 5/00 (2006.01)

本发明公开了一种自动化bar条激光芯片测试分筛装置,涉及半导体激光芯片测试技术领域,包括,载物台,在其表面放置bar条激光芯片;探针组件,所述探针组件包括探针,所述探针用于与bar条激光芯片的顶电极建立物理接触,传递电信号;光源检测装置,所述光源检测装置与所述探针组件正对设置,用于检测bar条激光芯片的波段与光功率;云台,所述载物台设置在所述云台上。本发明把光谱监测、电流补偿和帕尔贴温控联动起来,将光谱漂移量转化为电流补偿量和温度补偿量,通过α/β/k系数建立物理关联模型,实现光谱漂移的跨维度补偿,既能够精准的控制微岛结构的温度,又能够提高bar条激光芯片测试精确度。

外部リソース