分光棱镜消偏振薄膜及其制备方法、分光棱镜及其制备方法

本发明属于光学分光元件技术领域，具体涉及分光棱镜消偏振薄膜及其制备方法、分光棱镜及其制备方法。本发明提供的分光棱镜消偏振薄膜包括依次层叠设置的第一SiO膜层、第一TaO膜层、第一AlO膜层、金属银层、第二AlO膜层、第二TaO膜层和第二SiO膜层，所述第一SiO膜层与基底的表面接触。本发明提供的分光棱镜消偏振薄膜膜层数明显减少，总膜厚明显减薄，大大优化了膜层厚度，节省了膜料用量成本及设备能耗，大大提高了加工效率；同时降低了膜层破裂，掉电镀层的风险；膜层所含薄层相对更少，设备监控更加精准，实际效果与设计更接近，即能实现的规格更严苛，具有优异的实用价值。