光波导基板的制造方法和光波导基板

本发明公开了光波导基板的制造方法和光波导基板，光波导基板的制造方法包括：制备玻璃基板，在玻璃基板上制造电学传输通道；在玻璃基板上制造光波导结构；制作90°耦合反射空气透镜；将光芯片端电学组件与光电探测器端电学组件组装至玻璃基板上。由此，通过在玻璃基板上集成电学传输通道和光波导结构，并通过90°耦合反射空气透镜将光芯片端电学组件与光电探测器端电学组件组装至玻璃基板上，这样不仅可以防止玻璃基板与硅芯片组成的整体结构在热循环过程中发生翘曲、变形或凹陷，提升光波导基板的稳定性，还可以降低光信号的传输损耗，减少光信号传输过程中的延迟，而且，光信号传输过程中无电磁耦合，可以避免因电磁耦合导致的串扰问题。