一种兼具高适应性和高效的聚焦系统及其工作方法

本发明涉及一种兼具高适应性和高效的聚焦系统，包括：光路系统，其用于对晶圆上的待测对象进行聚焦并检测；Z轴平台，其用于承载光路系统；其中，光路系统上集成有压电陶瓷、光路传感器、步进执行机构和物镜可切换装置，光路传感器与步进执行机构形成第一闭环系统，并且第一闭环系统用于实现粗调聚焦，光路传感器和压电陶瓷形成第二闭环系统，并且第二闭环系统用于实现精确聚焦，物镜可切换装置依据待测对象的大小通过控制系统的信号实现不同倍数的物镜移动到主光路系统的光轴上。本发明提供了一种兼具高适应性和高效的聚焦系统，通过优化机械结构和采用高效的控制系统，实现了宽范围负载、负载承受力可调节、高响应多功能聚焦系统。