用于晶圆检测的可变倍率显微成像系统及控制方法

本发明涉及显微镜成像方法领域，具体涉及用于晶圆检测的可变倍率显微成像系统及控制方法，系统包括物镜模块、自动对焦模块、光源模块、相机模块、变动倍率模块，变动倍率模块位于相机模块与物镜模块之间，变动倍率模块根据变倍需求实现大范围可变倍率，方法包括根据晶圆样品的尺寸计算需要的系统放大倍率；计算显微成像系统中变动倍率模块的装配参数，并确定变动倍率模块的装配方案，将变动倍率模块同轴装配至成像系统中；采集晶圆样品在当前成像视场下的显微图像，控制电动样品台带动样品平移，实现成像视场的切换，再自动重新完成实时对焦；重复切换视场并自动对焦，直至整个晶圆样品上全部待测区域成像数据采集完成。本发明能够提高检测效率。